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Smart Factory with DUKIN
準分子激光退火設備 (ELA:excimer laser annealing)是 生產 TFT-LCD / OLED 的關鍵設備之一。
DUKIN最早將空氣軸承技術應用到該領域 DUKIN獨立開了ELA系統的軟件、機臺、控制,可以輕松實現對生產進程,工藝數據的管理并可以迅速響應客戶的訂制需求。
Excimer Laser Annealing,即準分子激光退火設備。是 生產 TFT-LCD / OLED 的關鍵設備之一。
用準分子激光作為熱源,激光經過透射系統后,會產生能量均勻分布的激光束并被投射于非晶硅結構的玻璃基板上,當非晶硅結構的玻璃基板吸收準分子激光的能量后,就會轉變成為多晶硅結構。
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